製品情報
コンポーネント（真空エアサーボステージ）
真空エアサーボステージを支えるコンポーネント
■ 高真空
■ 非磁性
■ 発熱フリー
■ ナノレベルの位置決め
■ 速度安定性
■ 再現性が高い
これらを実現するシステムに貢献するコンポーネントです。
モーションコントローラ
高速で装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な、複数軸を統括（モーション制御、ステージサーボ制御）することができる高性能モーションコントローラです。 サーボコントローラや位置計測信号処理ユニットＰＭＩＦ、リモートＩＯなどと専用の高速ネットワークで組み合わせることにより、フルデジタルインターフェースによる多軸完全同期制御システムを実現します。
ステージ制御用ソフトウェアパッケージを組み込むことで、エアステージシステム及び超精密ＸＹステージ制御用コントローラとして機能します。 ＥｔｈｅｒＮｅｔ通信（ＴＣＰ／ＩＰ）に対応し、他のコントローラからのコントロールも容易で、多くの制御データを高速に交換することもできます。また、装置の調整や試運転を効率化する調整用ソフトウェアも用意しています。
サーボコントローラ
スライダ制御を行う専用コントローラで、高速なサーボ演算及び外乱オブザーバや空気圧アクチュエータを制御するための独自制御アルゴリズムを搭載し、対抗する２台のサーボバルブに指令を出し高応答性を実現しています。また、２台のユニットを併用することで、２軸の並進軸とＹａｗ軸の制御も可能です。
測長ユニット
測長ユニット（ＰＭＩＦ）は、位置センサからステージ位置計測値を取り込む位置計測信号処理ユニット（ＶＭＥバスラック搭載型）です。 干渉計やリニアスケール信号、高速通信（ＬＶＤＳ）を位置計測値として取り込むことが可能です。インターポレータ機能やピッチ誤差補正機能、アライメント誤差補正機能、環境補正機能（レーザ干渉計使用時）など、超精密スキャンに欠かせない機能を装備しています。 更に、独自のハードウェア処理により、ステージ位置に同期した高精度なタイミングパルスを出力することも可能です。
バルブ制御ユニット
空気圧アクチュエータを駆動するための、高速・高応答エアサーボバルブと圧力センサを搭載したエアスライダ専用のバルブ制御ユニットです。エアサーボバルブはスプールタイプを標準とし、空気圧アクチュエータの高加減速や高精度な動作に必要な流量出力特性や制御性を確保しています。
空気圧アクチュエータ
空気圧のみで駆動可能な高精度で再現性の高いアクチュエータです。各面のエアベアリングにより完全非接触動作が可能で，かつ対向して設置されたサーボバルブの差圧制御によりスライダ駆動します。また、エアベアリングに供給された空気をスライダ内に設けた排気溝から回収し、真空チャンバ内の真空度を高真空に保つことが可能です。
